特許
J-GLOBAL ID:201003069122077388
ハンダボール印刷装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
ポレール特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-243680
公開番号(公開出願番号):特開2010-080468
出願日: 2008年09月24日
公開日(公表日): 2010年04月08日
要約:
【課題】最近半導体チップの電極部に形成するハンダバンプが微少化してきており、ハンダボールを用いて印刷する場合にハンダボールも微少化されている。このため印刷ハンダボールを精度良く印刷することが求められている。【解決手段】ハンダボールの印刷するための印刷ヘッド部に従来のスキージにかえて、半らせん形状の線材を複数備えたハンダボール充填部材を設けて所定の押付力でマスク面に押し付けることで線材にて形成される空間部でハンダボールに回転力が付加されることでハンダボールが適度に分散され、マスク開口部にハンダボールが押し込められる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板のフラックスの印刷された電極パッド上にハンダボール供給ヘッドからハンダボールを供給して印刷を行うハンダボール印刷機において、
前記ハンダボール供給ヘッドが、ハンダボールを貯留するハンダボール貯留部と、ハンダボール貯留部から所定量のハンダボールをマスク面に供給するためのシブ状体と、前記ハンダボール供給ヘッドの移動方向でハンダボール貯留部の前後に、前記ハンダボール貯留部の前記シブ状体から供給されたハンダボールをマスク面の開口部に供給し、余分な判断ボールを掻き取るためにマスク面に接触する側に半らせん状の複数の線材で形成したハンダボール充填部材を設けた構成としたことを特徴とするハンダボール印刷機。
IPC (2件):
FI (2件):
H01L21/92 604H
, H05K3/34 505A
Fターム (6件):
5E319AA03
, 5E319BB04
, 5E319CC33
, 5E319CD26
, 5E319GG01
, 5E319GG09
引用特許:
出願人引用 (6件)
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画像処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-219663
出願人:富士ゼロックス株式会社
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エレベーター装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-162693
出願人:株式会社日立製作所
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スクリーン印刷装置及びバンプ形成方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-337720
出願人:株式会社日立プラントテクノロジー
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審査官引用 (4件)