特許
J-GLOBAL ID：200903011015205412

スクリーン印刷装置及びバンプ形成方法

発明者：
向井 範昭

向井 範昭 について

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本間 真

本間 真 について

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阿部 猪佐雄

阿部 猪佐雄 について


出願人/特許権者：
株式会社日立プラントテクノロジー

株式会社日立プラントテクノロジー について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-337720
公開番号（公開出願番号）：特開2008-153319
出願日： 2006年12月15日
公開日（公表日）： 2008年07月03日
要約：
【課題】 バンプ電極形成において、マスクを揺動または振動させ所定の開口にハンダボールを充填する方法では、ハンダボール粒子径の小径化に伴い粒子間の密着現象が発生し、マスクの穴径が粒子径の1.3 倍未満では粒子間の密着力が、粒子自重より大きく開口部に充填できない問題が存在する。また同様にスキージやブラシの併進運動等による充填においても同様な問題が存在する。【解決手段】 印刷法で用いている安価で高精度なスクリーン印刷技術をベースとし、バンプ高さが安定するハンダボール微粒子を高速・高精度に充填・印刷可能なハンダボール充填用印刷装置を開発した。またハンダボール微粒子を効率よく使用するためにハンダボールを密閉状態で保持しながら充填・印刷することを実現した。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ハンダボールを用いたバンプ形成法において、ハンダボールを所定のパターンで充填・転写する開口を有するスクリーンと、スクリーンを載置・固定するスクリーン固定手段と、バンプ形成する基板を搬入・固定し所定の印刷・転写完了後に搬出する基板固定手段と、スクリーンと基板の各々の基準マークを画像処理しスクリーンと基板を位置合せする認識位置決め手段と、基板をスクリーンに対して密着させるための密着手段と、スクリーンを通して所定の位置にハンダボールを充填するための印刷手段と、印刷手段をスクリーン面に対し平行運動させる平動手段と、スクリーン開口に充填されたハンダボールを基板上に固着し版離れにより転写する転写手段とを有する印刷装置であって、印刷手段にはハンダボールを載置するシブ状体と、シブ状体に垂直若しくは水平振動を与える振動手段とを具備したバンプ形成方法。
IPC (3件)：
H01L 21/60 ,  H05K 3/34 ,  B41M 1/12
FI (3件)：
H01L21/92 604H ,  H05K3/34 505F ,  B41M1/12
Fターム (12件)：
2H113AA01 ,  2H113AA05 ,  2H113AA06 ,  2H113BA10 ,  2H113BB07 ,  2H113CA17 ,  2H113DA04 ,  2H113DA68 ,  5E319AA03 ,  5E319BB04 ,  5E319CD29 ,  5E319GG15
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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