特許

J-GLOBAL ID：201003069517456361

パターン形成方法およびパターン形成装置

発明者： 森山 聡 ,  堀田 巌 ,  駒井 正嗣
出願人/特許権者： 協和発酵ケミカル株式会社
代理人 (4件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  古館 久丹子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-105106
公開番号（公開出願番号）：特開2010-137358
出願日： 2007年04月12日
公開日（公表日）： 2010年06月24日
要約：

【課題】本発明の目的は、プラスチックモールドおよび可視光硬化性樹脂組成物を用いる、パターン形成方法およびパターン形成装置を提供することにある。【解決手段】所定パターンを有するプラスチックモールドを、可視光硬化性樹脂組成物に押し付けて該所定パターンを成形し、光を照射して該樹脂組成物を硬化させることを特徴とするパターン形成方法等を提供する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

可視光硬化性樹脂組成物に、所定パターンを有するプラスチックモールドを押し付けて該所定パターンを成形し、光を照射して該樹脂組成物を硬化させることを特徴とする、該樹脂組成物へのパターン形成方法。

IPC (3件)：

B29C 59/02 ,  B29C 59/04 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

B29C59/02 B ,  B29C59/04 C ,  H01L21/30 502D

Fターム (22件)：

4F209AA44 ,  4F209AB04 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH73 ,  4F209AH75 ,  4F209AJ03 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA02 ,  4F209PA06 ,  4F209PB01 ,  4F209PC05 ,  4F209PC06 ,  4F209PC07 ,  4F209PC08 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ01 ,  4F209PQ03 ,  4F209PQ06 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 流体圧力インプリント・リソグラフィ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-513006   出願人：ナノネックスコーポレーション, チヨウ,スティーヴン,ワイ.
• 段付き鋳張り捺印式リソグラフィー
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-604271   出願人：ボード・オヴ・リージェンツ,ザ・ユニヴァーシティ・オヴ・テキサス・システム
• インプリント方法及びインプリント装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-177513   出願人：大日本印刷株式会社
• 光硬化性樹脂成型用モールドおよび該モールドを用いる硬化物の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-236224   出願人：旭硝子株式会社