特許

J-GLOBAL ID：201003071277069998

化合物及びその製造方法並びに該化合物を含むレジスト組成物

発明者： 武元 一樹 ,  安藤 信雄 ,  畑 光宏
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-200487
公開番号（公開出願番号）：特開2010-083870
出願日： 2009年08月31日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：

【課題】化学増幅型のレジスト組成物の感度を、さらに高めるために利用される酸増殖機能を有する化合物及びこの化合物を用いたレジスト組成物を提供する。【解決手段】式(I)又は(I')で表される化合物。(式中、Z1及びZ2は、それぞれ独立に水素原子、C1〜12のアルキル基又はC3〜12の環状飽和炭化水素基を表す。環Y1及び環Y2は、それぞれ独立に置換されていてもよいC3〜20の脂環式炭化水素基を表す。Q1〜Q4は、それぞれ独立にフッ素原子又はC1〜6のペルフルオロアルキル基を表す。m及びnは、0〜5の整数を表す。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)又は式(I')で表される化合物。

IPC (6件)：

C07C 69/63 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  C07C 67/08 ,  C07C 67/10 ,  C09K 3/00

FI (6件)：

C07C69/63 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  C07C67/08 ,  C07C67/10 ,  C09K3/00 K

Fターム (33件)：

2H125AE04P ,  2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AF43P ,  2H125AH17 ,  2H125AJ48Y ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AN30P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN50P ,  2H125AN51P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125AN67P ,  2H125BA02P ,  2H125BA11P ,  2H125BA22P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CB16 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4H006AA01 ,  4H006AA02 ,  4H006AC48 ,  4H006BB12 ,  4H006BB15 ,  4H006KA05 ,  4H006KA06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 化学増幅型ポジ型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-078355   出願人：住友化学工業株式会社

審査官引用 (3件)

• 感光性樹脂前駆体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-202743   出願人：東レ株式会社
• 化学増幅型ポジ型レジスト組成物及び超分子とその製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-369278   出願人：住友化学株式会社
• ペルフルオロ(3-メトキシプロピオニルフルオリド)の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-058815   出願人：旭硝子株式会社