特許
J-GLOBAL ID：200903065958445008

感光性樹脂前駆体組成物

発明者：
藤田 陽二

藤田 陽二 について

, 
弓場 智之

弓場 智之 について

, 
諏訪 充史

諏訪 充史 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-202743
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043883
出願日： 2004年07月09日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】本発明は、露光後放置安定性に優れたアルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。 【解決手段】本発明は、(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマー、(b)2種以上の光酸発生剤、(c)アルコキシメチル基含有化合物を有することを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物である。【化1】 式中R1は2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基のいずれかを示す。nは10から100000までの範囲、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。ただしp+q>0である。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマー、(b)2種以上の光酸発生剤、(c)アルコキシメチル基含有化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂前駆体組成物。
IPC (7件)：
G03F7/037 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/085 ,  H01L21/027
FI (7件)：
G03F7/037 501 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/023 ,  G03F7/085 ,  H01L21/30 502R
Fターム (59件)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA11 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025BE07 ,  2H025CB25 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025CC06 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043QB15 ,  4J043QB25 ,  4J043QB31 ,  4J043QB34 ,  4J043RA35 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA54 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA13 ,  4J043TA14 ,  4J043TA32 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA262 ,  4J043UA662 ,  4J043UA672 ,  4J043UA762 ,  4J043UB061 ,  4J043UB122 ,  4J043UB152 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA012 ,  4J043VA021 ,  4J043VA042 ,  4J043VA052 ,  4J043VA061 ,  4J043VA081 ,  4J043VA082 ,  4J043ZB22
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (5件)
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