露光装置およびデバイス製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内尾裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-288268
公開番号（公開出願番号）：特開2010-114397
出願日： 2008年11月10日
公開日（公表日）： 2010年05月20日
要約：

【課題】ステージの温度調節において、流体循環系の流量を低減すること、または、流体循環系を不用にすること。【解決手段】基板(101)を保持するウエハステージ(4)または原版を保持するレチクルステージ(2)を有し、ウエハステージ(4)に保持された基板(101)を露光する露光装置であって、ウエハステージ(4)に設けられた気体室(103)と、気体室(103)の内部で気体の圧力を変化させてウエハステージ(4)の温度を調節する調節手段(107,108)と、を有することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

原版または基板を保持するステージを有し、前記ステージに保持された前記基板を露光する露光装置であって、前記ステージに設けられた気体室と、前記気体室内で気体の圧力を変化させて前記ステージの温度を調節する調節手段と、を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , H01L 21/683

FI (4件)：

H01L21/30 515G , H01L21/30 515F , H01L21/30 516E , H01L21/68 N

Fターム (20件)：

5F031CA02 , 5F031CA07 , 5F031HA13 , 5F031HA16 , 5F031HA23 , 5F031HA37 , 5F031HA38 , 5F031JA45 , 5F031JA47 , 5F031LA08 , 5F031MA27 , 5F046BA04 , 5F046BA05 , 5F046CC01 , 5F046CC02 , 5F046CC04 , 5F046CC08 , 5F046CC09 , 5F046CC10 , 5F046DA26

引用特許：

出願人引用 (2件)

露光装置、およびデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-367955 出願人：株式会社ニコン
特開平1-152639号公報

審査官引用 (5件)

温度制御付きヒートパイプ
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-514959 出願人：株式会社ニコン
冷却機構
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-046349 出願人：キヤノン株式会社
特開平1-152639

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