真空蒸着設備の膜厚検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：原田洋平 , 森本義弘 , 笹原敏司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-245055
公開番号（公開出願番号）：特開2010-077469
出願日： 2008年09月25日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
要約：

【課題】膜厚検出器の検出ヘッドを迅速にかつ精度よく交換できる。【解決手段】真空蒸着容器11にシャッタ61,71を介して開閉自在な導入予備容器62と導出予備容器とを備え、水晶振動子31を収容した収納ボックスに、位置決めピンと給電および計測用の端子とを有する検出ヘッド22を設け、真空蒸着容器内に設けられた検出器支持部材23に、検出ヘッド22の位置決めピンを嵌合させる位置決め孔を有する計測部23aを設け、使用済みの検出ヘッド22を計測部23aから導出予備容器に搬出する検出器導出装置と、新規な検出ヘッド22を導入予備容器62から計測部23aに搬入する検出器導入装置63とを設け、検出ヘッド22のメス形コネクタに接続可能なオス形コネクタを有する操作ロッド51を設けた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空蒸着容器に、シャッタを介して開閉自在でかつ真空状態を保持可能な予備容器を具備した真空蒸着設備の膜厚検出装置であって、計測開口部に臨んで検出素子を収容した収納ボックスと、当該収納ボックスに設けられた被位置決め部と、検出素子に給電して膜厚を計測するための端子とを有する検出ヘッドを設け、真空蒸着容器内に、位置決め部により前記検出ヘッドの被位置決め部を位置決めして計測部に保持する検出器支持部材を設け、前記検出ヘッドを、前記予備容器内と前記検出器支持部材との間で出し入れ可能な検出器導入出装置と、前記計測部に配置された前記検出ヘッドの端子に接続可能な端子接続部を有する操作部材を設けたことを特徴とする真空蒸着設備の膜厚検出装置。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 U

Fターム (3件)：

4K029CA01 , 4K029DA03 , 4K029EA01

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭61-64880号公報(第2図)
特開昭59-217232
特開昭61-064880

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