光学式計測装置および計測方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行 , 荒川伸夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-210785
公開番号（公開出願番号）：特開2010-048579
出願日： 2008年08月19日
公開日（公表日）： 2010年03月04日
要約：

【課題】信号光成分が小さい一方でノイズ光成分が大きいという状態においても光学式計測装置による計測を実現可能とする技術を提供する。【解決手段】光学式計測装置は、計測対象物体5の表面の計測対象部分に直線偏光(レーザビーム53)を照射するレーザダイオード202aと、直線偏光によって照射された計測対象部分の撮影画像が計測対象物体5の表面高さに応じて変化する方向から、計測対象部分を撮影して撮影画像を取得する2次元CCD203aと、2次元CCD203aの前段に設けられて、入射する光のうち直線偏光の偏光軸に平行な偏光軸を有する偏光成分を抽出する偏光フィルタ203bとを備える。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

計測対象物体の表面の計測対象部分に直線偏光を照射する投光部と、前記直線偏光によって照射された前記計測対象部分の撮影画像が前記計測対象物体の表面高さに応じて変化する方向から、前記計測対象部分を撮影して、前記撮影画像を取得する撮影部と、前記撮影部の前段に設けられて、入射する光のうち前記直線偏光の偏光軸に平行な偏光軸を有する偏光成分を抽出する偏光抽出光学素子と、前記撮影部が前記偏光成分を受光することにより撮影した前記撮影画像に基づいて、所定の計測処理を実行する計測処理部とを備える、光学式計測装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 , G01B 11/02 , G01B 11/00 , G01B 11/26

FI (4件)：

G01B11/24 K , G01B11/02 H , G01B11/00 H , G01B11/26 H

Fターム (29件)：

2F065AA09 , 2F065AA21 , 2F065AA24 , 2F065AA25 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065DD12 , 2F065FF01 , 2F065FF02 , 2F065FF09 , 2F065GG06 , 2F065GG08 , 2F065HH05 , 2F065HH09 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065LL21 , 2F065LL33 , 2F065LL37 , 2F065NN02 , 2F065NN12 , 2F065NN15 , 2F065QQ14 , 2F065QQ24 , 2F065QQ42 , 2F065SS02 , 2F065SS13

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第3575693号公報

審査官引用 (5件)

光学的形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-064660 出願人：株式会社神戸製鋼所
撮像光学装置及び撮像光学システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-110859 出願人：神鋼電機株式会社
光学式変位センサおよびその制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-219947 出願人：オムロン株式会社

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