特許
J-GLOBAL ID：201003079907729151

光活性化合物及び化学増幅型フォトレジスト組成物

発明者：
橋本 和彦

橋本 和彦 について

, 
重松 淳二

重松 淳二 について

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平岡 崇志

平岡 崇志 について

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枝松 邦茂

枝松 邦茂 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (4件)： 長谷川 芳樹 ,  清水 義憲 ,  三上 敬史 ,  沖田 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-058584
公開番号（公開出願番号）：特開2010-209259
出願日： 2009年03月11日
公開日（公表日）： 2010年09月24日
要約：
【課題】化学増幅型フォトレジスト組成物において、ラインエッジラフネス(LWR)の更なる改善を図ること。【解決手段】環状ポリシロキサンと、該環状ポリシロキサンを構成する珪素原子に結合した1又は2以上の側鎖と、を備え、前記側鎖のうち少なくとも一部が、光の作用により酸を発生する光活性基を含み、該光活性基が同一分子中に複数存在するときそれらは同一でも異なっていてもよい、光活性化合物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
環状ポリシロキサンと、該環状ポリシロキサンを構成する珪素原子に結合した1又は2以上の側鎖と、を備え、前記側鎖のうち少なくとも一部が、光の作用により酸を発生する光活性基を含み、該光活性基が同一分子中に複数存在するときそれらは同一でも異なっていてもよい、光活性化合物。
IPC (5件)：
C08G 77/38 ,  C08G 77/392 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/075
FI (5件)：
C08G77/38 ,  C08G77/392 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/075 511
Fターム (52件)：
2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BF02 ,  2H025BG00 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J246AA03 ,  4J246AB07 ,  4J246BA22X ,  4J246BA220 ,  4J246BB02X ,  4J246BB020 ,  4J246CA01M ,  4J246CA01U ,  4J246CA01X ,  4J246CA24M ,  4J246CA24X ,  4J246CA240 ,  4J246CA46M ,  4J246CA46X ,  4J246CA460 ,  4J246CA80M ,  4J246CA80X ,  4J246CA800 ,  4J246CA85M ,  4J246CA85X ,  4J246CA850 ,  4J246FA011 ,  4J246FA012 ,  4J246FA081 ,  4J246FA131 ,  4J246FA152 ,  4J246FA232 ,  4J246FA432 ,  4J246FA441 ,  4J246FA452 ,  4J246FC162 ,  4J246FE04 ,  4J246GA01 ,  4J246GA11 ,  4J246GA20 ,  4J246GC21 ,  4J246GC60 ,  4J246HA15
引用特許：
審査官引用 (5件)
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