特許
J-GLOBAL ID：200903055081268023

感光性かご状シルセスキオキサン化合物

発明者：
清水 建樹

清水 建樹 について

, 
井出 陽一郎

井出 陽一郎 について


出願人/特許権者：
旭化成株式会社

旭化成株式会社 について


代理人 (1件)： 青木 宏義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-123171
公開番号（公開出願番号）：特開2007-293160
出願日： 2006年04月27日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：
【課題】光酸発生剤などの酸を使用することなく、十分なコントラストで感光性を発現し、かつ成膜後に焼成することにより容易に耐熱性が高い膜が得られる感光性かご状シルセスキオキサン化合物を提供すること。【解決手段】本発明は、キノンジアジド構造を有することを特徴とするかご状シルセスキオキサン化合物である。これにより、光酸発生剤などの酸を使用することなく、十分なコントラストで感光性を発現し、かつ成膜後に焼成することにより容易に耐熱性が高い膜が得られる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
キノンジアジド構造を有することを特徴とするかご状シルセスキオキサン化合物。
IPC (3件)：
G03F 7/075 ,  G03F 7/023 ,  C08G 77/04
FI (3件)：
G03F7/075 511 ,  G03F7/023 501 ,  C08G77/04
Fターム (45件)：
2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE02 ,  2H025BF30 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J246AA03 ,  4J246AB07 ,  4J246BA01X ,  4J246BA010 ,  4J246BA02X ,  4J246BA020 ,  4J246BA12X ,  4J246BA120 ,  4J246CA03 ,  4J246CA33 ,  4J246CA330 ,  4J246CA34 ,  4J246CA34X ,  4J246CA340 ,  4J246CA650 ,  4J246CA72X ,  4J246CA720 ,  4J246FA222 ,  4J246FA43 ,  4J246FA431 ,  4J246FB211 ,  4J246FC152 ,  4J246FC162 ,  4J246GA01 ,  4J246GA20 ,  4J246GB11 ,  4J246GC12 ,  4J246GC26 ,  4J246GC45 ,  4J246GC53 ,  4J246HA08 ,  4J246HA15 ,  4J246HA65
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM