特許

J-GLOBAL ID：201003083311639950

パージバルブ及び基板収納容器

発明者： 小川 統
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-122802
公開番号（公開出願番号）：特開2010-270823
出願日： 2009年05月21日
公開日（公表日）： 2010年12月02日
要約：

【課題】バルブに双向性を付与して取付け作業の簡素化や迅速化を図ることができ、しかも、必要に応じてガス供給ポートの数等を迅速に増やすことのできるパージバルブ及び基板収納容器を提供する。【解決手段】容器本体の底板3の貫通孔4に嵌着されるバルブケース21と、バルブケース21にコイルバネ27を介し往復動可能に挿入支持され、バルブケース21を開閉する中空の内圧調整弁体39と、内圧調整弁体39内にコイルバネ41を介し往復動可能に挿入支持され、内圧調整弁体39を開閉する外圧調整弁体44と、バルブケース21と内圧調整弁体39及び外圧調整弁体44との間に介在されるガス濾過用のフィルタ48とを備える。バルブケース21の一端部から他端部方向にガスが流通する場合には、外圧調整弁体44を往動させてその閉じた内圧調整弁体39との間を開放し、バルブケース21の他端部から一端部方向にガスが流通する場合には、内圧調整弁体39を往動させてその閉じたバルブケース21との間を開放する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

中空のバルブケースの一端部を開口し、このバルブケースの他端部には少なくとも通気性を付与し、バルブケースの両端部間で気体を流通させ、かつこの気体の流通を制御するパージバルブであって、 バルブケースに往復動可能に挿入支持され、このバルブケースを開閉する中空の内圧調整弁体と、この内圧調整弁体に往復動可能に挿入支持され、内圧調整弁体を開閉する外圧調整弁体と、バルブケースの他端部と内圧調整弁体及び外圧調整弁体との間に介在される気体用のフィルタとを含み、 バルブケースの一端部から他端部方向に気体が流通する場合には、外圧調整弁体を往動させてその閉じた内圧調整弁体との間を開放し、バルブケースの他端部から一端部方向に気体が流通する場合には、内圧調整弁体を往動させてその閉じたバルブケースとの間を開放するようにしたことを特徴とするパージバルブ。

IPC (3件)：

F16K 15/06 ,  H01L 21/673 ,  B65D 85/86

FI (3件)：

F16K15/06 ,  H01L21/68 T ,  B65D85/38 R

Fターム (31件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096CA01 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA26 ,  3E096DB06 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA30 ,  3E096FA31 ,  3E096GA05 ,  3H058AA02 ,  3H058BB29 ,  3H058CA04 ,  3H058CA33 ,  3H058CB06 ,  3H058CD05 ,  3H058CD21 ,  3H058EE05 ,  3H058EE19 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA11 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20 ,  5F031KA20 ,  5F031NA04 ,  5F031PA07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-311275   出願人：信越ポリマー株式会社
• 2方向バルブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-036891   出願人：株式会社ニフコ
• 排気弁構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-023507   出願人：新日本石油株式会社, 昭和機器工業株式会社
• 基板収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-070470   出願人：信越ポリマー株式会社