特許

J-GLOBAL ID：201003087201334530

表面性状測定機用検出器

発明者： 鶴田 篤 ,  三木 章生
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-130464
公開番号（公開出願番号）：特開2010-276513
出願日： 2009年05月29日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：

【課題】十分な横剛性と低測定力とを同時に実現することができ、高精度化を図ることができる表面性状測定機用検出器を提供すること。【解決手段】可動片3の各側面32と、これら各側面32に対向配置される軸受部材5の対向面54との隙間には、対向面54に形成された噴出口から加圧気体が噴出され、気体膜が形成される。これら気体膜を介して軸受部材5の対向面54間で可動片3を挟み込むことで、軸受部材5間における可動片3のガタを抑えることができ、十分な横剛性を得ることができる。また、各軸受面53と支軸31との隙間にも、軸受面53に形成された噴出口から加圧気体が噴出され、気体膜が形成されるので、支軸31を非接触で支持することができ、転がり軸受で支軸31を支持する場合に比べ、摩擦抵抗を大幅に抑えることができる。そのため、より測定力を低減させることができ、高精度化を図ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一対の軸受部材と、両側面に前記軸受部材に回動可能に支持される支軸が設けられた可動片と、前記可動片から延出するとともに先端に測定子が設けられたスタイラスとを備えた表面性状測定機用検出器であって、 前記各軸受部材は、前記支軸と所定の隙間を介して配置される軸受面と、前記側面と所定の隙間を介して対向配置される対向面とを備え、 前記軸受面には、前記軸受面と前記支軸との前記隙間に加圧気体を噴出する噴出口が形成され、 前記対向面には、前記対向面と前記側面との前記隙間に加圧気体を噴出する噴出口が形成されている ことを特徴とする表面性状測定機用検出器。

IPC (2件)：

G01B 5/28 ,  G01B 5/00

FI (2件)：

G01B5/28 ,  G01B5/00 B

Fターム (9件)：

2F062AA51 ,  2F062AA66 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062FF03 ,  2F062FF04 ,  2F062HH05 ,  2F062HH21 ,  2F062MM06

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 表面性状測定プローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-254923   出願人：株式会社ミツトヨ
• 形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-089606   出願人：株式会社リコー
• 触針プローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-252971   出願人：キヤノン株式会社
• 表面追従型測定機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-248421   出願人：株式会社ミツトヨ
• 測定ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-178051   出願人：株式会社東京精密