特許
J-GLOBAL ID：201003090661505198
音叉型振動子及び発振器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西 和哉
, 志賀 正武
, 大浪 一徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-188663
公開番号（公開出願番号）：特開2010-028536
出願日： 2008年07月22日
公開日（公表日）： 2010年02月04日
要約：
【課題】より良好な振動モードが得られ、さらには、温度変化による特性変動の少ない振動子を提供する。【解決手段】3以上の奇数本の弾性腕11(12、13)と、これら弾性腕の一端側に連結する基部14とを有し、弾性腕を、隣り合うものどうしが互い違いになるようにしてその表裏方向に振動させる、音叉型振動子1である。弾性腕は、基材18と、基材18の一方の面側に設けられた、下部電極膜15aと圧電膜15bと上部電極膜15cとからなる圧電素子15とを含む。基部14から延出する弾性腕11の、基材18の長さをA、圧電膜15bの、基材18上での基部14からの長さをB、下部電極膜15aと上部電極膜15cとが対向することで形成される電界領域の、基材18上での基部14からの長さをCとすると、(3/4)A≦B≦A、(1/4)A≦C≦(1/2)Aを共に満足する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
3以上の奇数本の弾性腕と、前記弾性腕のそれぞれの一端側に連結する基部とを有し、前記弾性腕を、隣り合う弾性腕どうしが互い違いになるようにして該弾性腕の表裏方向に振動させる、音叉型振動子であって、
前記弾性腕は、基材と、該基材の一方の面側に設けられた、下部電極膜と圧電膜と上部電極膜とからなる圧電素子と、を含み、
前記基部から延出する前記弾性腕の、前記基材の長さをAとし、前記圧電膜の、前記基材上での前記基部からの長さをBとし、前記下部電極膜と前記上部電極膜とが対向することで形成される電界領域の、前記基材上での前記基部からの長さをCとすると、以下の式(1)、式(2)
(3/4)A≦B≦A ...式(1)
(1/4)A≦C≦(1/2)A ...式(2)
を共に満足することを特徴とする音叉型振動子。
IPC (7件)：
H03H 9/19
, H03H 9/215
, H03H 9/02
, H03B 5/32
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/22
H03H9/19 J
, H03H9/215
, H03H9/02 K
, H03B5/32 A
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 Z
5J079AA02
, 5J079AA04
, 5J079BA02
, 5J079FA01
, 5J079FA14
, 5J079FB03
, 5J079GA09
, 5J079HA03
, 5J079HA22
, 5J108AA04
, 5J108BB02
, 5J108BB03
, 5J108BB07
, 5J108BB08
, 5J108CC06
, 5J108CC08
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108HH01
, 5J108HH05
