特許
J-GLOBAL ID：201003090818630900
研削装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-329739
公開番号（公開出願番号）：特開2010-149222
出願日： 2008年12月25日
公開日（公表日）： 2010年07月08日
要約：
【課題】 研削砥石のドレッシングの回数を減らすことができるとともにウエーハにスクラッチを生じさせることの無い研削装置を提供することである。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールを回転可能に支持した研削手段とを備えた研削装置であって、該研削ホイールは、スピンドルの先端に連結されたホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とから構成され、該環状基台の該マウント装着部から該自由端部に至る外周側面及び内周側面を洗浄する洗浄手段が配設されていることを特徴とする。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールを回転可能に支持した研削手段とを備えた研削装置であって、
該研削ホイールは、スピンドルの先端に連結されたホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、
該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とから構成され、
該環状基台の該マウント装着部から該自由端部に至る外周側面及び内周側面を洗浄する洗浄手段が配設されていることを特徴とする研削装置。
IPC (3件)：
B24B 53/007
, B24B 41/047
, B24B 7/00
B24B53/007
, B24B41/047
, B24B7/00 Z
3C034AA08
, 3C034BB02
, 3C034BB87
, 3C034DD10
, 3C034DD20
, 3C043BA03
, 3C043BA09
, 3C043BA11
, 3C043CC04
, 3C043DD06
, 3C043EE02
, 3C047FF04
, 3C047FF19
, 3C047GG08
