ポリマー材料表面相互作用を変えるための方法及びプロセス

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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：村山靖彦 , 志賀正武 , 渡邊隆 , 実広信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-283148
公開番号（公開出願番号）：特開2010-183064
出願日： 2009年12月14日
公開日（公表日）： 2010年08月19日
要約：

【課題】光反応性化合物、特に光開始剤、及びアクリレート又はエポキシド等の重合性単官能及び多官能モノマー、を含む硬化性材料を提供する。【解決手段】本願の材料は、硬化の際前記化合物に共有結合する能力を有する官能基によって完全に又は部分的に終端された、フッ素系界面活性剤を含んでもよい。硬化性化合物は、純粋なアクリレートベースの、又は、アクリレート、エポキシド、又はビニルエーテル等、様々なタイプのモノマーのハイブリッドのどちらかである。重合性モノマーは、フリーラジカル光開始剤又はカチオン性光開始剤等、様々なタイプの光開始剤で硬化されてよく、最終的にアクリレート及びエポキシド等様々なタイプのモノマーの相互貫入ネットワークを含むハイブリッドレジストを形成する。アクリレート/エポキシドハイブリッド系はナノインプリントリソグラフィープロセスの高い忠実度という観点で、改良された複製性能を示した。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

固着防止型からIPSにパターンを転写するために、及び基板レジスト表面上部にパターンを転写するためのテンプレートとしてのパターン形成されたIPSの使用のために、2段階インプリント法に適用可能である、光硬化IPS材料を提供する方法であって、重合を開始する性能を有する光開始剤又は触媒、重合可能な単官能又は多官能モノマー、及び、硬化の際レジストに共有結合する性能を有する官能基によって完全に又は部分的に終端されたフッ素系界面活性剤、を含むプロセス。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , C08F 2/38 , C08F 220/24 , C08F 2/46 , B29C 59/02

FI (5件)：

H01L21/30 502D , C08F2/38 , C08F220/24 , C08F2/46 , B29C59/02 Z

Fターム (43件)：

4F209AA44 , 4F209AB10 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AH73 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PN06 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 4J011AA05 , 4J011AC04 , 4J011PA26 , 4J011PB40 , 4J011PC08 , 4J011QA07 , 4J011QA08 , 4J011QA13 , 4J011QA18 , 4J011QA32 , 4J011QA33 , 4J011QA43 , 4J011SA84 , 4J011UA06 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J011XA03 , 4J100AK38R , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL66Q , 4J100BA08Q , 4J100BA77P , 4J100BB03Q , 4J100BB11Q , 4J100BB18Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100DA36 , 4J100FA04 , 4J100JA38 , 5F046AA28

引用特許：

審査官引用 (8件)

中間スタンプによるパターン複製
公報種別：公表公報出願番号：特願2008-515059 出願人：オブデュキャットアクチボラグ
インプリント・リソグラフィの散乱計測アラインメント
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-526254 出願人：モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
特開昭60-018524

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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