メタクリル系ラクトン共重合体の重合方法及び共重合体

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡邉一平 , 木川幸治 , 菅野重慶
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-010459
公開番号（公開出願番号）：特開2010-168434
出願日： 2009年01月21日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：

【課題】本発明は、溶剤に対する溶解性の良好な重合体の重合方法に関する。【解決手段】少なくとも1種類以上の単量体および重合開始剤を滴下する、メタクリル系のラクトン化合物を含む重合体の重合方法であって、全重合開始剤添加量をA(g)、開始剤滴下時間をB(時間)、重合前に予め仕込まれた重合開始剤添加量および重合開始から30分後までに投入された重合開始剤添加量をX(g)とするとき、X>A/2Bを満足する重合方法である。(ただし、1<Bとし、単量体および重合開始剤のいずれもが容器中に投入された時点を重合開始とする。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

少なくとも1種類の単量体および重合開始剤を滴下する、半導体製造用レジストに含まれるメタクリル系のラクトン構造を含む共重合体の重合方法であって、全重合開始剤添加量をA(g)、開始剤滴下時間をB(時間)、重合前に予め仕込まれた重合開始剤添加量および重合開始から30分後までに投入された重合開始剤添加量をX(g)とするとき、X(g)>1/2(時間)×A(g)/B(時間)を満足する重合方法。(ただし、Bは1時間を越える期間とし、単量体および重合開始剤のいずれもが容器中に投入された時点を重合開始とする。また、「g」および「時間」は単位である。)

IPC (2件)：

C08F 2/00 , C08F 220/18

FI (2件)：

C08F2/00 A , C08F220/18

Fターム (19件)：

4J011AA05 , 4J011BA03 , 4J011BB02 , 4J011BB09 , 4J011BB12 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100BA12P , 4J100BC03R , 4J100BC04R , 4J100BC07Q , 4J100BC07R , 4J100BC09R , 4J100BC53P , 4J100CA05 , 4J100DA04 , 4J100FA34 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (4件)

レジストポリマー及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-013877 出願人：丸善石油化学株式会社
フォトレジスト用樹脂の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-369076 出願人：ダイセル化学工業株式会社
レジスト材料用重合体及びその製造方法、レジスト材料、パターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-133797 出願人：信越化学工業株式会社

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