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J-GLOBAL ID：201102207686970012   整理番号：11A0944994

水晶のための二次元異方性ウエットエッチングシミュレータ

A Two-dimensional Anisotropic Wet Etching Simulator for Quartz Crystal

著者 (6件)： ZHAO Meng (The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.) ,  WANG Jiani (The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.) ,  OIGAWA Hiroshi (The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.) ,  JI Jing (The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.) ,  HAYASHI Hisanori (The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.) ,  UEDA Toshitsugu (The Graduate School of Information, Production and Systems, Waseda Univ.)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 131  号： 5  ページ： 185-188 (J-STAGE)  発行年： 2011年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 筆者らは,二次元で直線により形成される,初期の形状のエッチングプロファイルを予測できる異方性ウエットエッチングシミュレータを開発した。特別な条件での新しいエッチング速度データベースを得た。円形の隅のエッチングを処理するのに改良したhull方法を用いた。不適当なプロファイル予測を避けるために,新しいプログラミングフローを採用した。ユーザの便宜のために,使い易いグラフィカルユーザインターフェイスを作成した。このシミュレータのシミュレーション結果は実験結果と良く一致し,新しい新生面予測に良好な精度を示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 異方性 ,  二次元 ,  *エッチング ,  *石英 ,  シミュレータ ,  *水晶

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (15件)：

• (1) F. C. Frank and M. B. Ives : “Orientation-dependent dissolution of Germanium”, J. Appl. Phys., Vol. 31, pp. 1996-1999 (1960)
• (2) R. J. Jaccodine : “Use of modified free energy theorems to predict equilibrium growing and etching shapes”, J. Appl. Phys., Vol. 33, pp. 2643-2647 (1962)
• (3) C. H. Sequin : “Computer simulation of anisotropic crystal etching”, Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 34, No. 3, pp. 225-241 (1992)
• (4) C. R. Tellier, N. Vialle, and J. L. Vaterkowski : “Experimental Study and Numerical Simulation of Quartz Crystal Etched Figures”, 40th Annual Symposium on Frequency Control. 1986, pp. 76-85 (1986)
• (5) C. R. Tellier, N. Vialle, and J. L. Vaterkowski : “A vectorial analysis for the numerical simulation of the surface profiles of etched singly-rotated quartz plates”, Surface and Coatings Technology, Vol. 34, No. 4, pp. 417-439 (1988)

タイトルに関連する用語 (2件)： 水晶 ,  異方性