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文献
J-GLOBAL ID：201102254656176921
整理番号：11A1123615 滑り電極をもつシリコンビームマイクロエレクトロメカニカルシステム共振器
Silicon Beam Microelectromechanical Systems Resonator with a Sliding Electrode
クリップ引用文献 (27件)
- 1) H. Tanigawa, S. Makita, and K. Suzuki: IEEJ Trans. Electr. Electron. Eng. 5 (2010) 164.
- 2) A. Uranga, J. Tera, J. Verd, J. L. Lopez, F. Torres, G. Abadal, N. Barniol, J. Esteve, and F. P. Murano: Proc. Int. Symp. Circuits and Systems, 2006, p. 2301.
- 3) C. S. Lam: Proc. IEEE Ultrasonics Symp., 2008, p. 694.
- 4) T. Ishino, S. Makita, H. Tanigawa, and K. Suzuki: Proc. 25th Sensor Symp., 2008, p. 551.
- 5) K. Wang, A.-C. Wong, and C. T.-C. Nguyen: J. Microelectromech. Syst. 9 (2000) 347.
- 6) K. Ikoma, M. Okazaki, and M. Esashi: IEEE Sensors, 2006, p. 1289.
- 7) Y. Xie, S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, and C. T.-C. Nguyen: IEDM Tech. Dig., 2003, p. 953.
- 8) S.-S. Li, Y.-W. Lin, Z. Ren, Y. Xie, and C. T.-C. Nguyen: Tech. Dig. Micro Electro Mechanical Systems, 2004, p. 821.
- 9) T. Oka, H. Tanigawa, and K. Suzuki: Jpn. J. Appl. Phys. 49 (2010) 06GN05.
- 10) V. Kaajakari, T. Mattila, A. Oja, J. Kiihamaki, H. Kattelus, M. Koskenvuori, P. Rantakari, I. Tittonen, and H. Seppa: Tech. Dig. Transducers, 2003, p. 951, vol. 2.
- 11) M. Ziaei-Moayyed, D. Elata, J. Hsieh, J.-W. P. Chen, E. P. Quevy, and R. T. Howe: Tech. Dig. Micro Electro Mechanical Systems, 2009, p. 931.
- 12) K. R. Cioffi and W.-T. Hsu: Frequency Control Symp. Expo., 2005, p. 551.
- 13) Y.-W. Lin, S.-S. Li, Y. Xie, Z. Ren, and C. T.-C. Nguyen: Proc. IEEE Int. Frequency Control Symp., 2005, p. 128.
- 14) S. Lee and C. T.-C. Nguyen: Proc. IEEE Int. Frequency Control Symp., 2004, p. 144.
- 15) M. U. Demirci and C. T.-C. Nguyen: J. Microelectromech. Syst. 15 (2006) 1419.
- 16) D. Galayko, A. Kaiser, B. Legrand, D. Collard, L. Buchaillot, and C. Combi: Tech. Dig. MEMS'02, 2002, p. 665.
- 17) L.-W. Hung and C. T.-C. Nguyen: Tech. Dig. MEMS'10, 2010, p. 120.
- 18) T. J. Cheng and S. A. Bhave: Tech. Dig. MEMS'10, 2010, p. 695.
- 19) D. Galayko, A. Kaiser, L. Buchaillot, B. Legrand, D. Collard, and C. Combi: J. Micromech. Microeng. 13 (2003) 134.
- 20) J. R. Clark, W.-T. Hsu, M. A. Abdelmoneum, and C. T.-C. Nguyen: J. Microelectromech. Syst. 14 (2005) 1298.
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