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J-GLOBAL ID：201102260435773240   整理番号：11A1246674

光応答性ジアゾ/PVAレジストへのカーボンナノチューブ(CNT)の利用 3 CNT長さの影響

Application of Carbon Nanotubes (CNT) to Photosensitive Diazo/PVA Resist (3)-Effect of CNT Length

著者 (9件)： HANZAWA Yohko (Chiba Inst. Technol., Chiba, JPN) ,  NAKADA Masahiro (Chiba Inst. Technol., Chiba, JPN) ,  HARADA Kieko (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  OKADA Masaki (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  HIAKI Toshihiko (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  MATSUDA Kiyomi (Nihon Univ., Chiba, JPN) ,  HAMANA Hiroshi (Saitama Inst. Technol., Saitama, JPN) ,  TAKAHARA Shigeru (Chiba Univ., Chiba, JPN) ,  SUGITA Kazuyuki (Saitama Inst. Technol., Saitama, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 24  号： 4  ページ： 379-382  発行年： 2011年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： p-置換ベンゼンジアゾ化合物(SBD)に異なる長さの多層カーボンナノチューブ(CNT)を混合し,固体状態のTDAとDTAから分解温度(Td)を求めた。電子吸引置換基(WSB)を持つSBDのTdは電子供与置換基(DSB)を持つSBDのTdより高かった。SBDのカチオン性ジアゾ基は富電子CNT表面に容易に配位した。長いCNTとのSBDのTdは短いCNTのSBDより高かった。CNTによるジアゾ化合物の安定化エネルギーをWinMOPACで計算し,ジアゾ分子当たり37kJ/molであった。CNTの酸化処理によりCNT粒子の分散性が増した。ジアゾ/PVAレジストフィルムの光分解速度はCNT量により増加したがCNT粒子長さの効果はなかった。短いox-CNTは高い透過率を持ち,長いCNTのフィルム硬度は短いCNTのフィルムより大であった。長いCNTを持つポリマー鎖のパッキング度は短いCNTのものより高いと考えられた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *フォトレジスト ,  *ポリビニルアルコール ,  *ジアゾ化合物 ,  *多層カーボンナノチューブ ,  光分解 ,  添加物効果 ,  置換基効果 ,  透過率 ,  エネルギー ,  反応速度 ,  分解温度 ,  分散度 ,  錯体生成 ,  安定化エネルギー
準シソーラス用語： *ポリマーフィルム ,  光レジスト ,  分散性

分類 (3件)： 高分子と低分子との反応  (CG03020L) ,  高分子固体の物理的性質  (CG02024U) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： 4-ブロモベンゼンジアゾニウム

引用文献 (15件)：

• 1. K. Harada, M. Kushida, K. Saito, K. Sugita and H. Iida,“Micro- and Nanopattering Polymers”H. Ito, E. Reichmanis, O. Naramasu and T. Ueno, eds., ACS Symp. Ser. 706, Amer. Chem. Soc., Washington, D.C., 1998, pp.126-133.
• 2. K. Harada, M. Kushida, K. Saito, K. Sugita and H. Iida, J. Imaging Sci. and Technol., 46 (2002) 159.
• 3. K. Harada, M. Kushida, S. Miyagawa, S. Takahara and K. Sugita, J. Photopolym. Sci. Technol., 18 (2005) 187.
• 4. K. Harada, T. Taniai, M. Nakada, H. Hamana and K. Sugita, J. Photopolymer Sci. Technol., 20 (2007) 309.
• 5. M. Okada, K. Harada, N. Takamura, T. Hiaki, K. Matsuda, H. Hamana, S. Takahara and K. Sugita, J. Photopolymer Sci. Technol., 23 (2010) 413.

タイトルに関連する用語 (4件)： 光応答 ,  レジスト ,  カーボンナノチューブ ,  CNT