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J-GLOBAL ID：201102274201787540   整理番号：11A1680356

電気推進・先端推進の数値シミュレーション スパッタリングシミュレーション

著者 (3件)： 百武徹 (横浜国大) ,  剣持貴弘 (同志社大) ,  村本哲也 (岡山理大)
資料名： 日本航空宇宙学会誌
巻： 59  号： 693  ページ： 309-315  発行年： 2011年10月05日 
JST資料番号： F0230A  ISSN： 0021-4663  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 数値解析によるイオンエンジンのグリッド耐久認定用数値解析ツール(JIEDIツール)が,数値解析によるグリッド寿命評価方法として研究開発が進められている。ツールの信頼性向上のためには入力情報として正確な物性値が必要不可欠である。イオンエンジンの加速グリッドにはキセノンイオンによるスパッタリング現象が起こっておりグリッド損耗をもたらす。炭素グリッド損耗を評価する際に必要なスパッタ収量は,JIEDIで特に重要な物性値である。低エネルギーイオンを対象としたキセノンイオンによる炭素材へのスパッタリングシミュレーションについて述べた。始めに垂直入射のスパッタ収量に関する半経験式を用いる場合の問題点を述べ,スパッタリング公式にキセノンの蓄積効果を取り入れた新たなスパッタリング公式を紹介し,分子動力学法を用いたスパッタリングと再付着現象のシミュレーション研究を紹介した。

シソーラス用語： *イオンエンジン ,  *スパッタ蒸着 ,  計算機シミュレーション ,  浸食 ,  キセノン ,  消耗 ,  電極 ,  *計算機コード ,  洗浄 ,  付着 ,  炭素材 ,  イオン ,  数値解析 ,  耐久試験 ,  改良 ,  寿命評価
準シソーラス用語： スパッタリング堆積 ,  解析コード ,  再付着 ,  信頼性向上 ,  低エネルギーイオン ,  *電極損耗 ,  分子動力学シミュレーション

分類 (1件)： ロケットエンジン  (PB02050J)

引用文献 (29件)：

• 船木一幸編. イオン加速グリッド耐久認定用数値解析JIEDI (JAXA Ion Engine Development Initiatives) ツールの研究開発ワークショップ論文集. 2009
• YAMAMURA, Y. Energy Dependence of Ion-Induced Sputtering Yields from Monatomic Solids at Normal Incidence. 1995
• 百武徹. イオンエンジン加速グリッドにおけるスパッタリング解析に向けて. 2007, 59-63
• ROSENBERG, D. Sputtering Yields for Low Energy He^+-, Kr^+-, and Xe^+-Ion Bombardment. J. Appl. Phys. 1962, 33, 1842-1845
• DELTSCHEW, R. Sputter Characteristics of Carbon-Carbon Compound Material. 2001

タイトルに関連する用語 (5件)： 電気推進 ,  推進 ,  数値シミュレーション ,  スパッタリング ,  シミュレーション