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J-GLOBAL ID：201102283463821510   整理番号：11A0809170

多接合太陽電池向けフルスペクトルZnO透明導電膜の低気圧高周波プラズマ合成

Full spectrum ZnO transparent conductive film synthesized in low pressure rf plasma for multi-junction solar cell

著者 (5件)： 佐藤直幸 (茨城大) ,  吉田善紀 (茨城大) ,  柳澤真也 (茨城大) ,  岸田智和 (茨城大) ,  池畑隆 (茨城大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-11  号： 1-3.5-6  ページ： 3-8  発行年： 2011年03月14日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 亜鉛-酸素混合を用いたVHF帯の誘導結合プラズマ(ICP)を用い,イオンプレーティングで,ZnO透明導電膜を成膜した。ノンドープ条件で,波長領域380~2100nmで光透過率78.3%,シート抵抗率10.7オーム/□のZnO透明導電膜を得た。水素添加により抵抗率を更に低減できることも確認した。

シソーラス用語： イオンめっき ,  *透明導電膜 ,  *酸化亜鉛 ,  *プラズマ合成 ,  シート抵抗 ,  電気抵抗率 ,  添加物効果 ,  *薄膜成長 ,  プラズマ処理 ,  光透過 ,  *太陽電池 ,  光透過率 ,  *タンデム太陽電池
準シソーラス用語： イオンプレーティング ,  *多接合太陽電池

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (13件)：

• (1)馬来 国弼他:「透明導電膜の技術」オーム社(2007).
• (2) NIKKEI MICRODEVICES:「究極の太陽電池」, November(2009).
• (3)佐藤直幸:「首都圏北部4大学発新技術説明会」http://jstshingi.jp/abst/p/09/911/4u141.pdf(2009);吉田善紀他:ICP合成によるZnO透明導電膜のプラズマパラメータ依存性」電気学会プラズマ研究会資料PST-10-123/PPT-10-143, pp. 75-80(2010).
• (4) Klaus Elimer et al :“Transparent Conductive Zinc Oxide” MATERIALS SCIENCE (2006) ; Weifeng Liu et al:“Al-doped ZnO thin film deposited by reactive frequency magnetron sputtering:H₂-induced property changes”Thin Solid film 515pp. 3057-3060 (2007).
• (5) Housei Akazawa :“Highly conductive, undoped ZnO thin fi lms deposited by electron-cyclotron-resonance plasma sputtering on silica glass substrate”Thin Solid Films 518 pp. 22-26 (2009).

タイトルに関連する用語 (6件)： 多接合太陽電池 ,  スペクトル ,  ZnO ,  透明導電膜 ,  低気圧 ,  高周波プラズマ