特許
J-GLOBAL ID：201103000265184131
位置ずれ検査装置の光学的収差測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北野 好人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-221025
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146528
特許番号：特許第3634198号
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】突起又は溝からなる第1及び第2の検査マークを有する基準サンプルに波長λの光を照射し、前記第1及び第2の検査マークにより反射される光を撮像装置により撮像し、取得した画像に基づいて前記第1及び第2の検査マークの間の第1の位置ずれ量を計測する工程と、前記基準サンプルを180度回転した後、前記基準サンプルに波長λの光を照射し、前記第1及び第2の検査マークにより反射される光を前記撮像装置により撮像し、取得した画像に基づいて前記第1及び第2の検査マークの間の第2の位置ずれ量を計測する工程と、前記第1及び第2の位置ずれ量から前記位置ずれ検査装置の光学的収差を算出する工程とを有する位置ずれ検査装置の光学的収差測定方法であって、前記第1及び第2の位置ずれ量を計測する工程は、いずれも前記撮像装置の焦点位置を前記第1及び第2の検査マークの高さ又は深さ方向に移動して各焦点位置における映像を撮像する工程を含むことを特徴とする位置ずれ検査装置の光学的収差測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 H
, H01L 21/30 516 A
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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