特許
J-GLOBAL ID：201103001126925468
顕微プレパラートを走査顕微鏡で検査する装置構造および走査顕微鏡のための照明装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤田 アキラ
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-183690
公開番号（公開出願番号）：特開2002-055284
特許番号：特許第4560243号
出願日： 2001年06月18日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】レーザー(1)と、当該レーザー(1)によって生じた光を被検査対象である試料(13)に結像させる光学的手段(12)とを備えた、顕微プレパラートを走査顕微鏡で検査するための装置構造であって、
波長選択手段(16)としてAOTF制御器を有した音響光学フィルタ(AOTF16)、ビームパン(18)及び光ファイバー(3,20,51)が設けられている、装置構造において、
パルスレーザー(1)として形成された上記レーザーと上記光学的手段(12)の間に、上記パルスレーザー(1)によって生じた光を、一度の通過でスペクトル拡散させてスペクトル広帯域照明光(4)を出力する光学構造要素(3,20,51)が設けられ、
その際、当該光学構造要素を上記光ファイバー(3,20,51)が構成し、
上記波長選択手段(16)が、少なくとも1つの波長または少なくとも1つの波長範囲の光を減衰および/または絞るための手段(16)を有し、上記光ファイバー(3,20,51)の下流側に配置されており、
上記ビームパン(18)が上記音響光学フィルタ(AOTF16)に付設され、スペクトル拡散された光のうち使用されないスペクトル成分を捕獲し、
光パワーを安定させるために制御回路が設けられ、上記パルスレーザー(1)の強度が電子制御器(26)によって制御され、試料(13)に一定の光パワーを突き当てることを特徴とする、装置構造。
IPC (3件)：
G02B 21/06 ( 200 6.01)
, G02B 5/00 ( 200 6.01)
, G02B 6/00 ( 200 6.01)
G02B 21/06
, G02B 5/00 Z
, G02B 6/00 376 Z
