特許

J-GLOBAL ID：201103001759126084

ウェファー移送方法および装置

発明者： ハスパー,アルベルト ,  フーセン,フランク ,  コーイイマン,コルネリス・マリヌス ,  オーステルラケン,テオドルス・ゲラルドウス・マリア ,  バン・プツテン,ジヤツク・ヘルマン ,  リツダー,クリステイアヌス・ゲラルドウス・マリア ,  スニイデルス,ゲルト-ジヤン ,  ストウトイエスデイク,ジエロエン・ジヤン ,  ジンガー,ジヤン
出願人/特許権者： エイエスエム・インターナシヨナル・エヌ・ブイ
代理人 (1件)： 小田島 平吉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-553984
特許番号：特許第3519687号
出願日： 1999年06月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ウェファー(13)を、ホアップ(foup)カセット(10)から及びホアップカセットに、移送するための装置であって、前記カセットを受け入れるためにカセットハウジングと係合する第1開口部(37)を第1の壁面に有し、且つ、ウェファーを処理装置に移動させるための第2開口部(38)を第1の壁面と反対側の第2の壁面に有し、前記第1及び第2の開口部は互いに正反対に向いている、ロック室(41)を備え、前記第1の開口部を閉鎖する少なくとも一つの第1閉鎖手段(44)を有し、この第1閉鎖手段は前記カセットハウジングのカバー(42)を受けるようになっており、ガスの供給(49)及びガスの排出(50)のための手段が前記ロック室に設けられており、前記第1閉鎖手段(44)とは別個に前記第2開口部(38)を閉鎖するために第2閉鎖手段(46)が設けられており、前記第1及び前記第2の閉鎖手段は互いに隣接しており且つ平行である、ことを特徴とする装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/00 C

引用特許：

出願人引用 (4件)

• クリーン搬送方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-024992   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 半導体装置の製造方法および搬送インターフェース装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-312939   出願人：株式会社日立製作所
• 基板の保管方法とそのためのクリーンストッカ、真空ゲートバルブおよび搬送容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-215018   出願人：株式会社日本製鋼所
• 可搬式密閉コンテナのガスパージステーション
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-084791   出願人：神鋼電機株式会社

審査官引用 (4件)

• クリーン搬送方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-024992   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 半導体装置の製造方法および搬送インターフェース装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-312939   出願人：株式会社日立製作所
• 基板の保管方法とそのためのクリーンストッカ、真空ゲートバルブおよび搬送容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-215018   出願人：株式会社日本製鋼所
• 可搬式密閉コンテナのガスパージステーション
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-084791   出願人：神鋼電機株式会社