処理装置及び金属部品の表面処理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-110147
公開番号（公開出願番号）：特開2000-303180
特許番号：特許第3911902号
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空引き可能になされた処理容器内の載置台上に被処理体を載置し、前記処理容器の天井部に設けたシャワーヘッド部から処理ガスを供給して前記被処理体に所定の処理を施す処理装置において、前記処理装置に用いるアルミニウム製の金属部材の表面は、有機機械化学研磨処理とブラスト処理とアルマイト処理が順次施されて、前記金属部材の加工時に生じた切削跡が除去されて表面が滑らかになされていることを特徴とする処理装置。

IPC (2件)：