特許
J-GLOBAL ID：201103003163184136
感放射線性樹脂組成物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
特許業務法人センダ国際特許事務所
, 橋本 幸治
, 辻永 和徳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-080952
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275837
特許番号：特許第4157645号
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂、放射線の作用により酸を生成する感放射線性化合物及び窒素含有化合物を含有する感放射線性樹脂組成物であって、該窒素含有化合物が分子中に2個以上の窒素原子を含有し、かつそれぞれの窒素原子は、炭素原子、ケイ素原子、酸素原子、イオウ原子から選ばれる原子のみと直接結合している下記一般式(I)で示される化合物であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
{式中、R1,R2,R3,R4は、同一でも異なっていても良く、直鎖状または分岐状のアルキル基を表し、Xは、下記一般式(II)で示される基を表す。
(式中、nは1以上の自然数を表し、R5,R6は同一でも異なっていても良く直鎖状または分岐状のアルキレン鎖を表す。)
IPC (3件)：
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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