特許
J-GLOBAL ID：201103005169388607
積層被加工物の切削方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
佐々木 功
, 川村 恭子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056760
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252241
特許番号：特許第4509243号
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも、被加工物を保持して切削送り割り出し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を光学的手段で撮像し切削すべき領域を検出する光学的手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物に傾斜溝を形成する溝用ブレードが装着された第1の切削手段と該被加工物を切削する切断用ブレードが装着された第2の切削手段とを備えた切削装置によって遂行される積層被加工物の切削方法であって、
該積層被加工物を保持手段に保持させる保持工程と、
該積層被加工物の少なくとも向かい合う一組の辺それぞれの近傍に、第1の切削手段に装着された切削ブレードによって第1及び第2の傾斜溝を形成して積層物が検出できる状態にする傾斜溝形成工程と、
該傾斜溝形成工程によって形成された第1の傾斜溝と第2の傾斜溝とを光学的手段で撮像して、該第1の傾斜溝及び第2の傾斜溝の積層物を検出する検出工程と、
該検出工程によって検出された各対応する積層物を結ぶ線が切削方向と平行となるように位置合わせを遂行するアライメント工程と、
該検出工程によって検出された各積層物の間隔を認識して演算する間隔演算工程と、
各隣接する積層物間を第2の切削手段に装着された切削ブレードによって切削するとともに、該積層被加工物に形成された傾斜溝を含んだ外側は廃材とし、該廃材となる部分は切削工程において切削しないように第2の切削手段に装着された切削ブレードを制御する切削工程と、から少なくとも構成され、
切削手段と光学的手段との間に、または光学的手段の直下に、エアーを吹き出すエアー吹き出し手段が配設され、
該エアー吹き出し手段によって、傾斜溝形成工程の後で且つアライメント工程の前に、傾斜溝形成工程によって形成された傾斜溝にエアーを吹き付けるエアー吹き付け工程が遂行される積層被加工物の切削方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/78 Q
, H01L 21/78 C
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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