特許
J-GLOBAL ID：201103005383173936

検査装置、検査方法および検査プログラム

発明者：
中原徳雄

中原徳雄 について

, 
石井寛明

石井寛明 について


出願人/特許権者：
株式会社ニッケ機械製作所

株式会社ニッケ機械製作所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-153271
公開番号（公開出願番号）：特開2011-007710
出願日： 2009年06月29日
公開日（公表日）： 2011年01月13日
要約：
【課題】複数の突起部を有する検査対象物を迅速に検査する。【解決手段】検査装置は、検査対象物A載せる透明なテーブル12と、テーブル12の下面から光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、光パターンが照射された検査対象物Aを、テーブル12の下面から撮影する撮像部22と、検査対象物Aの画像を処理して、検査対象物Aの表面の3次元形状を表す表面形状データを生成する画像処理部103と、表面形状データにより表される検査対象物Aにおける複数の突起部それぞれにおいて、テーブル12の上面に対する位置を示す値の代表値を決定する代表値決定部102と、複数の突起部それぞれにおける代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部101と備える。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
少なくとも1方向に並ぶ複数の突起部を備える検査対象物を検査する検査装置であって、 前記検査対象物を載せる透明なテーブルと、 前記テーブルの上面に載せられた前記検査対象物に対して、前記テーブルの下面から光の強度が周期的に変化する光パターンを照射する光照射部と、 前記光パターンが照射された前記検査対象物を、前記テーブルの下面から撮影する撮像部と、 前記撮像部で撮影された前記検査対象物の画像を処理して、前記検査対象物の表面の3次元形状を表す表面形状データを生成する画像処理部と、 前記画像処理部で生成された前記表面形状データにより表される前記検査対象物における前記複数の突起部それぞれにおいて、前記テーブルの上面に対する位置を示す値の代表値を決定する代表値決定部と、 前記複数の突起部それぞれにおける前記代表値の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部と備える、検査装置。
IPC (2件)：
G01B 11/25 ,  G01N 21/956
FI (2件)：
G01B11/25 H ,  G01N21/956 B
Fターム (42件)：
2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA22 ,  2F065AA47 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF42 ,  2F065GG01 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065HH06 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL59 ,  2F065MM03 ,  2F065NN02 ,  2F065NN05 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ32 ,  2F065RR08 ,  2F065SS04 ,  2F065SS13 ,  2G051AA61 ,  2G051AA62 ,  2G051AB02 ,  2G051AB10 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051CC09 ,  2G051EB01 ,  2G051EB09 ,  2G051ED30
引用特許：
審査官引用 (6件)
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