特許
J-GLOBAL ID：200903023281777047

形状検査装置

発明者：
中原 徳雄

中原 徳雄 について

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平里 和弘

平里 和弘 について

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田中 隆二

田中 隆二 について

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杉村 克弥

杉村 克弥 について


出願人/特許権者：
株式会社ニッケ機械製作所

株式会社ニッケ機械製作所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 有古特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-103459
公開番号（公開出願番号）：特開2008-261679
出願日： 2007年04月11日
公開日（公表日）： 2008年10月30日
要約：
【課題】検査対象物の雰囲気温度を反映させて高精度に形状測定ができるようにする。【解決手段】光の強度が周期的に変化する縞状の光パターンを検査対象物100の表面上に照射する光パターン照射装置2と、光パターンが照射された検査対象物100の画像を撮影する撮影カメラ3と、検査対象物100と光パターンとの相対位置関係を変化させる変位装置4と、検査対象物100の雰囲気温度を制御可能な温度制御装置5と、撮影カメラ3及び温度制御装置5からの情報に基づいて検査対象物100の各部位の高さ情報を算出する形状計測手段21とを備え、形状計測手段21は、温度制御装置5により検査対象物100の雰囲気温度が予め決められた温度となった状態で、撮影カメラ3により検査対象物100の画像を撮影させ、その少なくとも3つの画像上の光の強度分布に基づいて位相シフト法により検査対象物100の各部位の高さ情報を算出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光の強度が周期的に変化する縞状の光パターンを検査対象物の表面上に照射する光パターン照射手段と、 前記光パターン照射手段により光パターンが照射された前記検査対象物の画像を可視光で撮影する撮影カメラと、 前記検査対象物と前記光パターンとの相対位置関係を変化させる変位手段と、 前記検査対象物の雰囲気温度を制御可能な温度制御手段と、 前記撮影カメラ及び前記温度制御手段からの情報に基づいて、予め決められた温度における前記検査対象物の各部位の高さ情報を算出する計測手段とを備え、 前記計測手段は、前記温度制御手段により前記検査対象物の雰囲気温度が予め決められた温度となった状態で、前記変位手段により前記相対位置関係を変化させながら前記撮影カメラにより前記検査対象物の画像を少なくとも3つ撮影させ、その少なくとも3つの画像上の光の強度分布に基づいて位相シフト法により前記検査対象物の各部位の高さ情報を算出することを特徴とする形状検査装置。
IPC (2件)：
G01B 11/25 ,  G01N 21/956
FI (2件)：
G01B11/25 H ,  G01N21/956 B
Fターム (34件)：
2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC26 ,  2F065DD06 ,  2F065DD11 ,  2F065EE01 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF41 ,  2F065FF69 ,  2F065FF70 ,  2F065GG04 ,  2F065GG21 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2G051AA65 ,  2G051AB20 ,  2G051AC11 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC11 ,  2G051DA07
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 外観検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-186616   出願人：鐘紡株式会社
審査官引用 (11件)
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