温度制御方法及び温度制御装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工藤宣幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-342824
公開番号（公開出願番号）：特開2001-160528
特許番号：特許第4656348号
出願日： 1999年12月02日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】制御前には、目標温度t1に対して高温(又は低温)の所定温度若しくはその近傍温度になっている板状対象物体の当初の表面温度txを、目標温度に制御する温度制御方法において、目標温度より所定温度だけ低温(又は高温)の固定温度tcを有するように温度管理された蓄熱基体の一面に、上記板状対象物体の一方の面が面するように、上記蓄熱基体及び上記板状対象物体を近接させた状態を継続させて、上記板状対象物体の表面温度を目標温度に向かって変化させ、上記板状対象物体の表面温度が目標温度に達したとき、又は、上記板状対象物体の表面温度の目標温度に対する温度差が所定範囲内まで減少したとき、上記板状対象物体を上記蓄熱基体から所定距離だけ離れた位置に移動させ、上記板状対象物体の表面温度を目標温度に保持することを特徴とする温度制御方法。

IPC (1件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (1件)：

H01L 21/30 502 H

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-069111
基板冷却装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-186494 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
循環クーラントを用いた温度コントローラ及びそのための温度制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-194209 出願人：エフエスアイ・インターナショナル・インコーポレーテッド

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