特許
J-GLOBAL ID:201103006218677896

液中電位計測方法及び液中電位計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-200432
公開番号(公開出願番号):特開2011-053018
出願日: 2009年08月31日
公開日(公表日): 2011年03月17日
要約:
【課題】液体中に置かれた物質の表面電位、及び表面電位状態に影響された液体側の電位構造をミクロスケールで計測すること。【解決手段】液体中に計測対象をセットし(ステップS101)、カンチレバーを第1周波数で振動させ(ステップS104)、カンチレバーが備える探針に、直流電位及び第1周波数とは異なる第2周波数の交流電位を重畳して印加する(ステップS105)。次に、探針を計測対象へ接近させ(ステップS108)、第1周波数の振動振幅を所定の一定値に保つように探針と計測対象との距離を制御して、探針と計測対象とを接触させる(ステップS109)。その後、第2周波数の振動成分が0になるように直流電位を制御して、第2周波数の振動成分が0になったときの直流電位を求める(ステップS110)。【選択図】図2
請求項(抜粋):
液体中に計測対象を保持した状態で、自由端側に探針を有するカンチレバーを第1周波数で振動させるとともに、前記探針に、直流電位及び前記第1周波数とは異なる第2周波数の交流電位を重畳して印加する電位印加手順と、 前記探針が前記計測対象に接触していない状態で前記第1周波数の振動振幅を検出し、その後、前記第1周波数の振動振幅を検出しつつ前記探針を前記計測対象へ接近させ、前記第1周波数の振動振幅を所定の一定値に保つように前記探針と前記計測対象との距離を制御して、前記第1周波数の振動振幅が前記所定の一定値に保たれたときに前記探針と前記計測対象とが接触したと判定する接触判定手順と、 前記探針と前記計測対象とが接触したと判定された状態で、前記第2周波数の振動成分が0になるように前記直流電位を制御して、前記第2周波数の振動成分が0になったときの前記直流電位を前記計測対象の表面における電位として求める表面電位測定手順と、 前記探針を前記計測対象から離れた位置に移動させる探針移動手順と、 前記探針が前記計測対象から離れたその位置において、前記第2周波数の振動成分が0になるように前記直流電位を制御して、前記第2周波数の振動成分が0になったときの前記直流電位を求め、その電位をその離れた位置における液体中の電位とする液中電位測定手順と、 を含むことを特徴とする液中電位計測方法。
IPC (3件):
G01Q 60/30 ,  G01R 29/12 ,  G01Q 30/14
FI (3件):
G01N13/16 101C ,  G01R29/12 D ,  G01N13/10 121H
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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