特許
J-GLOBAL ID：201103006397648291

マニピュレータおよびそれを用いたプローブ装置、試料作製装置

発明者：
松島 勝

松島 勝 について

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梅村 馨

梅村 馨 について

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富松 聡

富松 聡 について

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小池 英巳

小池 英巳 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056602
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251820
特許番号：特許第3851464号
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 真空チャンバを備えたプローブ装置内でプローブを操作するマニュピレータにおいて、 前記真空チャンバ内の所望の位置にプローブを移動させるプローブ移動機構と、 前記真空チャンバを大気開放せずに前記プローブを当該真空チャンバ内に出し入れする真空導入機構と、 前記プローブを保持するプローブホルダとを有し、 前記プローブ移動機構と、前記真空導入機構とが接続され、前記真空チャンバに取り付けるためのベースフランジと、 前記プローブホルダは前記プローブを収納し保護する外筒を備えることを特徴とするマニピュレータ。
IPC (5件)：
H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  B25J 7/00 ( 200 6.01) ,  G01N 1/28 ( 200 6.01) ,  G01R 1/06 ( 200 6.01) ,  G01R 31/28 ( 200 6.01)
FI (5件)：
H01J 37/20 Z ,  B25J 7/00 ,  G01N 1/28 G ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/28 K
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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