陽電子再放出顕微鏡及び陽電子ビームを用いた観察方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：高橋敬四郎 , 来山幹雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-232539
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056307
特許番号：特許第4109397号
出願日： 1999年08月19日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】陽電子ビームを放出する陽電子ビーム発生源と、前記陽電子ビーム発生源から放出された陽電子ビームが入射する位置に試料を保持する試料保持手段と、前記試料の表面近傍の空間に、該試料の表面から陽電子を引き出す向きの電界を発生させる電界発生手段と、前記試料の表面から再放出され、前記電界により加速された陽電子を観測する観測手段とを有し、前記電界発生手段は、陽電子に対して仕事関数が正の試料の表面近傍の空間のうち、該試料内の電位よりも電位の高い部分の厚さを、トンネル現象により陽電子が透過できる厚さにする大きさの電界を発生させる陽電子再放出顕微鏡。

IPC (6件)：

G01N 23/225 ( 200 6.01) , G01N 23/04 ( 200 6.01) , G21H 5/00 ( 200 6.01) , G21K 5/04 ( 200 6.01) , H01J 37/26 ( 200 6.01) , H01J 37/27 ( 200 6.01)

FI (6件)：

G01N 23/225 , G01N 23/04 , G21H 5/00 M , G21K 5/04 Z , H01J 37/26 , H01J 37/27

引用特許：

審査官引用 (9件)

特許第2847601号
特許第2847601号
物質表層の物性の探査方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-185686 出願人：科学技術振興事業団

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