有機ELディスプレイの製造方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113195
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306665
特許番号：特許第3568189号
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電子ビーム蒸着により金属電極を形成する有機ELディスプレイの製造装置であって、ディスプレイ基板と蒸発源の間に前記ディスプレイ基板と平行に磁場を形成して、前記蒸発源に電子ビームが照射されることによって蒸発源から発生する2次電子がディスプレイ基板に到達することを防ぐ防止手段を設け、前記防止手段は、前記ディスプレイ基板と前記蒸発源との間の前記蒸発源に近い位置に設置されていることを特徴とする有機ELディスプレイの製造装置。

IPC (2件)：