特許
J-GLOBAL ID：201103007108195876

CSP基板分割装置

発明者：
神垣 政圭

神垣 政圭 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 佐々木 功 ,  川村 恭子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199055
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023936
特許番号：特許第4312304号
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】CSP基板を支持する治具と、 CSP基板の種類に対応した2種類以上の治具を格納する治具ラックと、 該治具ラックから適宜の治具を搬出し、搬出した治具をCSP基板が載置される領域に位置付ける治具搬出入テーブルと、 CSP基板を治具に載置するCSP基板載置手段と、 CSP基板をペレットに分割する切削ブレードを備えた分割手段と から少なくとも構成されたCSP基板分割装置であって、 個々の治具には、治具を識別するための識別マークが対応するCSP基板の種類に対応して形成されており、 該治具ラックから該治具を搬出する際に、該識別マークに基づき該治具が分割すべきCSP基板に対応する治具であるか否かを判断する判断手段が含まれるCSP基板分割装置。
IPC (1件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01)
FI (1件)：
H01L 21/78 C
引用特許：
出願人引用 (7件)
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