スラリー供給装置とその方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外9名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160202
特許番号：特許第3105211号
出願日： 1999年06月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】スラリーを化学的機械研磨装置に供給するものであって、少なくとも、スラリー容器と、第1管路を介して前記スラリー容器に連通し、前記第1管路により前記スラリー容器中の前記スラリーを送り込まれるとともに、第2管路を介して前記スラリーを前記化学的機械研磨装置へ送り出す緩衝供給タンクと、前記スラリー容器に配設される第1音波発振器と、前記第2管路に配設される第2音波発振器と、前記第1音波発振器および前記第2音波発振器に接続されて、前記第1音波発振器ならびに前記第2音波発振器のオンオフ動作を制御するパルス制御器と、を具備するものであるスラリー供給装置。

IPC (3件)：