特許
J-GLOBAL ID：201103008241232853
紫外近接場光学顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
川口 嘉之
, 松倉 秀実
, 和久田 純一
, 遠山 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-141244
公開番号（公開出願番号）：特開2010-286397
出願日： 2009年06月12日
公開日（公表日）： 2010年12月24日
要約：
【課題】紫外・深紫外領域で近接場増強を得ることができる散乱型近接場光学顕微鏡を提供する。【解決手段】散乱型近接場光学顕微鏡において、励起レーザー光が紫外・深紫外レーザー光であり、プローブ先端の材料に励起レーザーの波長で誘電率が-2以下である金属を採用する。このような金属としてアルミニウムやロジウムを好適に用いることができる。プローブは、真空蒸着により、シリコン製のプローブの表面にアルミニウム薄膜を形成して作製することが好ましい。この際、薄膜の膜厚を約25nmとして、付着するアルミニウムが直径10〜20nmの粒状構造であることが好ましい。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
試料にレーザー光を集光させてラマン散乱光を発生させるラマン散乱光発生手段と、
前記試料に近接または接触させて前記ラマン散乱光を増強し散乱させる、先端が尖鋭なプローブと、
前記プローブによって散乱された散乱光からラマンスペクトルを検出する検出手段と、
を備え、
前記レーザー光の波長は140nm〜350nmであり、
前記プローブの材料は、前記レーザー光の波長において誘電率が-2以下の金属である
ことを特徴とする紫外近接場光学顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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