特許
J-GLOBAL ID：200903036669629710
光ファイバ探針の製造方法およびその製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 剛 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-285757
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132831
出願日： 1996年10月29日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 より微細な先端をもつNSOMまたはSPM等に使用できる光ファイバ探針を効率よく安価に製造する方法およびそのための製造装置を提供する。【解決手段】 光ファイバ探針の製造方法は、光伝播用のコアと、該コアを覆い、コアの屈折率よりも小さい屈折率を有するクラッドとを有する光ファイバの一端を、エッチング液中でエッチングするに際して、その光ファイバおよびエッチング液の少なくともいずれか一方を20kHzないし1GHzの超音波で振動させてエッチングを行う工程を有する。そのための装置の一例は、エッチング液21を保持するエッチング槽22と、光ファイバ23を保持して前記エッチング液中に光ファイバの一端を浸漬する光ファイバ保持手段24と、光ファイバを超音波振動させる超音波振動手段25とを有する。
請求項（抜粋）：
光伝播用のコアと、該コアを覆い、コアの屈折率よりも小さい屈折率を有するクラッドとを有する光ファイバの一端を、エッチング液中でエッチングするに際して、該光ファイバおよびエッチング液の少なくともいずれか一方を20kHzないし1GHzの超音波で振動させてエッチングを行う工程を有することを特徴とする光ファイバ探針の製造方法。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 11/30
, G01B 21/30
, G02B 6/10
G01N 37/00 E
, G01B 11/30 Z
, G01B 21/30 Z
, G02B 6/10 D
出願人引用 (15件)
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プローブの製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-281720
出願人：株式会社ニコン
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ファイバープローブ装置の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-315402
出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
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ファイバ製プローブ素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-185132
出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
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審査官引用 (7件)
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