ICウェハの高低温検査方法および遮熱プレート付きプローブカードホルダ。

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-029091
公開番号（公開出願番号）：特開2000-228428
特許番号：特許第3327328号
出願日： 1999年02月05日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】プローブカードを用い、ウェハチャックを熱源として前記ウェハチャックに保持されたICウェハを高温および低温状態にして検査を行うICウェハの高低温検査方法において、前記プローブカードを保持するプローブカードホルダに、前記プローブカードと前記ウェハチャックとの間に位置させて遮熱プレートを設置する段階と、前記ウェハチャックより発生する熱を、前記プローブカードホルダに保持されたプローブカードに至る間で遮熱する段階とを有することを特徴とするICウェハの高低温検査方法。

IPC (3件)：