特許
J-GLOBAL ID：201103008598770578
基板から有機物質を灰化する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-529750
特許番号：特許第3358808号
出願日： 1999年01月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板表面から有機物質を除去する方法において、a)三酸化硫黄と、補助ガスとしてのハロゲン化物とを含み、三酸化硫黄の濃度が1〜95容量パーセントである反応ガスからプラズマを生成する工程、およびb)該有機物質を含有する該基板表面に該プラズマを、該有機物質を灰化するのに十分であるが該基板表面を損傷させるにはいたらないだけの時間、衝突させる工程を含んでなる方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 7/42
, H01L 21/302 H
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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