特許
J-GLOBAL ID：201103008946656245
高純度1,3-プロパンジオール誘導体系溶媒、その製造方法、及び用途
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
後藤 幸久
, 壬生 優子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-607958
特許番号：特許第4570786号
出願日： 2000年03月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】1,3-プロパンジオールアルキルエーテル、1,3-プロパンジオールアルキルエーテルアセテート、又はこれらの混合物である溶剤(a)からなるレジスト用溶剤からなるリソグラフィー用洗浄剤。
IPC (9件)：
C07C 43/13 ( 200 6.01)
, C07C 41/26 ( 200 6.01)
, C07C 41/42 ( 200 6.01)
, C08L 101/00 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/32 ( 200 6.01)
, H05K 3/00 ( 200 6.01)
, C07C 45/64 ( 200 6.01)
C07C 43/13 C
, C07C 41/26
, C07C 41/42
, C08L 101/00
, G03F 7/004 501
, G03F 7/027
, G03F 7/32 501
, H05K 3/00 F
, C07C 45/64
