特許
J-GLOBAL ID：201103009559495655

液処理装置、液処理方法、プログラムおよびプログラム記録媒体

発明者：
松 本 和 久

松 本 和 久 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (7件)： 勝沼 宏仁 ,  永井 浩之 ,  磯貝 克臣 ,  名塚 聡 ,  岡田 淳平 ,  森 秀行 ,  堀田 幸裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-054508
公開番号（公開出願番号）：特開2011-187891
出願日： 2010年03月11日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：
【課題】複数の液体を混合してなる混合液を用いる液処理装置における混合液の濃度について、大きなコストをかけることなく、よりワイドレンジな調整を実現すること。【解決手段】液処理装置10は、主配管20と、主配管に接続された液供給機構40と、主配管から分岐する複数の分岐管25と、各分岐管に接続された複数の処理ユニット50と、を有する。液供給機構40は、主配管上に設けられた混合器43と、第1液源からの第1液を前記混合器へ供給する第1液供給管41bと、第2液源からの第2液を前記混合器へ供給する第2液供給管42bと、を有する。第2液供給管42bに流量調整バルブ42dが設けられると共に、主配管20を液供給機構40に対して他側から開閉し得る主開閉機構22が設けられている。前記混合比に基づいて流量調整バルブ42dと主開閉機構22とが制御される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
主配管と、 前記主配管上に設けられた混合器と、第1液源からの第1液を前記混合器へ供給する第1液供給管と、第2液源からの第2液を前記混合器へ供給する第2液供給管と、を有し、前記第1液と前記第2液とを前記混合器で所定の混合比となるよう混合してなる混合液を、前記主配管に一側から供給する液供給機構と、 前記主配管に設けられ、前記主配管を前記液供給機構に対する他側において開閉し得る主開閉機構と、 前記液供給機構と前記主開閉機構との間の区間において前記主配管からそれぞれ分岐するように設けられた複数の分岐管と、 各分岐管にそれぞれ対応して設けられた複数の処理ユニットであって、対応する分岐管を通じて供給される混合液を用いて被処理体を処理するように構成された、複数の処理ユニットと、 を備え、 前記第2液供給管には、流量調整バルブが設けられており、 前記混合比に基づいて前記流量調整バルブと前記主開閉機構とを制御する制御部が設けられている ことを特徴とする液処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ,  H01L 21/306 ,  G03F 1/08
FI (4件)：
H01L21/304 648K ,  H01L21/304 648G ,  H01L21/306 R ,  G03F1/08 X
Fターム (38件)：
2H095BB22 ,  2H095BB23 ,  2H095BB31 ,  5F043DD13 ,  5F043EE07 ,  5F043EE08 ,  5F043EE29 ,  5F043EE31 ,  5F157AA79 ,  5F157AB02 ,  5F157AB33 ,  5F157AB44 ,  5F157AB90 ,  5F157AC01 ,  5F157AC41 ,  5F157AC52 ,  5F157BB22 ,  5F157BB36 ,  5F157BB38 ,  5F157BB52 ,  5F157BC13 ,  5F157BC14 ,  5F157CA12 ,  5F157CB01 ,  5F157CB11 ,  5F157CD32 ,  5F157CE08 ,  5F157CE10 ,  5F157CE32 ,  5F157CE33 ,  5F157CE37 ,  5F157CE85 ,  5F157CF14 ,  5F157CF44 ,  5F157CF60 ,  5F157DB03 ,  5F157DB37 ,  5F157DC00
引用特許：
審査官引用 (5件)
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