冷陰極及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-332675
公開番号（公開出願番号）：特開2001-155620
特許番号：特許第3451048号
出願日： 1999年11月24日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】金属基板を挟んで上面にゲート絶縁層及び該ゲート絶縁層上のゲート電極が、下面にはカソード電極が各々形成され、前記金属基板及びゲート絶縁層内を通って上端面が前記ゲート絶縁層表面に露出するナノスケールのチューブからなる電界放出電子源の下端部が前記カソード電極に挿入されていることを特徴とする冷陰極。

IPC (2件)：