測定手順ファイル生成方法、測定装置および記憶媒体

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡部敏彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-161783
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346638
特許番号：特許第3468504号
出願日： 1999年06月09日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被測定物を測定するための測定経路が設定された測定手順ファイルを生成する測定手順ファイル生成方法において、前記被測定物を撮影する工程と、該撮影により得られた複数枚の画像を結合して前記被測定物全体の画像を生成する工程と、該生成された被測定物の画像を塗りつぶすあるいは線で囲むことにより任意の形状の測定領域を指定する工程と、該指定された測定領域、および前記測定経路のパターンとして登録されている複数のパターンの中から選択されたパターンに基づき、前記測定経路を生成する工程とを有することを特徴とする測定手順ファイル生成方法。

IPC (1件)：