データ通信方法及びデータ通信システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小原肇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-319545
公開番号（公開出願番号）：特開2001-144156
特許番号：特許第4444419号
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】テスタに接続され、上記テスタとのデータ通信に基づいて、ローダ室からプローバ室へ被検査体を搬送し、上記プローバ室内で上記被検査体内の複数のチップのアライメントを行った後、上記被検査体の電気的特性検査を行い、検査後の上記被検査体を上記ローダ室へ搬送するように構成されたプローブ装置において、上記プローバ室内で上記被検査体の電気的特性検査に先立つ上記アライメントと並行して上記プローブ装置から上記テスタへ上記複数のチップの電気的特性検査に必要な測定用データを一括して送信する工程と、上記被検査体内の複数のチップの電気的特性の測定を終了した後、上記被検査体を上記プローバ室から上記ローダ室へ搬送する間に、上記測定後の上記複数のチップの測定結果データを一括して上記テスタから上記プローブ装置へ送信する工程と、を備えたことを特徴とするデータ通信方法。

IPC (1件)：

H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/66 B , H01L 21/66 Z

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-014538
検査システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-121011 出願人：東京エレクトロン株式会社
半導体ウエハ装置のテスト方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-196437 出願人：日本電気株式会社

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審査官引用 (5件)

特開平2-014538
検査システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-121011 出願人：東京エレクトロン株式会社
半導体ウエハ装置のテスト方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-196437 出願人：日本電気株式会社

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