特許
J-GLOBAL ID：201103014937566080
位置決め装置及び位置決め方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-375886
公開番号（公開出願番号）：特開2002-182703
特許番号：特許第4139065号
出願日： 2000年12月11日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 加速度次元の制御量を入力すると位置次元の制御量として出力する2重積分特性を有する剛体モードに少なくとも1つの共振モードが加わって構成される制御対象と、前記制御対象から出力される前記位置次元の制御量をサンプリングするサンプリング回路と、前記サンプリング回路のサンプリング結果を入力すると所定の演算を行って演算結果を出力するデジタル制御器と、前記デジタル制御器から出力される前記加速度次元の制御量を前記制御対象に伝えることにより該制御対象を駆動するドライバを含むアクチュエータとにより制御ループを形成し、前記制御対象の位置を制御する位置決め装置であって、
前記制御ループに挿入され、前記デジタル制御器、前記デジタル制御器の演算時間遅れ、前記アクチュエータおよび前記制御対象の全てをあわせた開ループ周波数応答におけるゲインが0dBを越える前記共振モードのうち最も周波数の低い第1の共振モードの周波数の位相を、前記制御対象による前記制御量の入力時点を起点として-270度から-450度の範囲にするための位相調整フィルタを備えることを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
G05B 11/36 ( 200 6.01)
, G05D 3/12 ( 200 6.01)
, G11B 21/10 ( 200 6.01)
G05B 11/36 501 C
, G05D 3/12 302
, G11B 21/10 R
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (9件)
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