特許
J-GLOBAL ID：201103015371474154
圧電アクチュエータ機構
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
大家 邦久
, 林 篤史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-031954
公開番号（公開出願番号）：特開2011-172331
出願日： 2010年02月17日
公開日（公表日）： 2011年09月01日
要約：
【課題】光学システムにおけるミラーホルダの調整や直動ステージの可動テーブルの位置決めの自動操作に適し、全長が短く、小形で高精度な位置・角度調整、位置決めが可能な圧電アクチュエータ機構を提供する。【解決手段】この圧電アクチュエータ機構は、送りネジ11と送りネジナット14によるネジ送り機構と、この送りネジナット14の後端面に取り付けられた円盤形ロータ17と、ロータ17の周面に接当する圧電振動子21を有する超音波モータ18と、ばね力で送りネジ11の先端に押圧され、かつ該送りネジの送り動作で変位、位置出しされる被動マウント部とを有している。被動マウント部は、例えば光学システムで用いられるミラーホルダ1や直動ステージ10の可動テーブル21とすることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
送りネジと送りネジナットによるネジ送り機構と、前記送りネジナットの後端面に取り付けられた円盤形ロータと、前記ロータの周面に接当する圧電振動子を有する超音波モータと、ばね力で前記送りネジの先端に押圧され、かつ該送りネジの送り動作で変位、位置出しされる被動マウント部とを有することを特徴とする圧電アクチュエータ機構。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5H680AA19
, 5H680BB02
, 5H680BC01
, 5H680CC02
, 5H680DD02
