特許
J-GLOBAL ID:201103016144796877
クリーニングガス及びエッチングガス、並びにチャンバークリーニング方法及びエッチング方法
発明者:
,
,
,
,
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
鈴木 俊一郎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-261471
公開番号(公開出願番号):特開2002-158181
特許番号:特許第4112198号
出願日: 2001年08月30日
公開日(公表日): 2002年05月31日
請求項(抜粋):
【請求項1】 CF3OCOFとO2とを含むことを特徴とするチャンバークリーニング用ガス。
IPC (2件):
H01L 21/205 ( 200 6.01)
, H01L 21/3065 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01L 21/205
, H01L 21/302 101 H
引用特許:
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る