特許

J-GLOBAL ID：201103016263331890

シート剥離装置及び剥離方法

発明者： 吉岡 孝久 ,  杉下 芳昭
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-271418
公開番号（公開出願番号）：特開2011-114270
出願日： 2009年11月30日
公開日（公表日）： 2011年06月09日
要約：

【課題】接着シートの剥離不良が発生することを防止することができるようにすること。【解決手段】シート剥離装置10は、ウエハWの一方の面に貼付された接着シートSを剥離用テープPTを介してウエハWから剥離する。接着シートSは、基材シートBと、この基材シートBの一方の面に設けられた接着剤層ADとを含む。シート剥離装置10は、基材シートB及び接着剤層ADを切断する切断手段16と、剥離用テープPTを繰り出す繰出手段12と、接着シートSに剥離用テープPTを貼付する貼付手段14と、ウエハWと剥離用テープPTと相対移動させることで接着シートSを剥離可能な移動手段15とを備えている。切断手段16は、両端が基材シートBの外縁にそれぞれ達する切り込みCを形成して接着シートSを複数の分割シートS1、S2として形成可能に設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離装置において、 前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、 前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に切り込みを形成する切断手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、被着体と剥離用テープとを相対移動させることで接着シートを剥離可能な移動手段とを備え、 前記切断手段は、両端が基材シートの外縁にそれぞれ達する切り込みを形成することで、前記接着シートを複数の分割シートとして形成可能に設けられていることを特徴とするシート剥離装置。

IPC (5件)：

H01L 21/683 ,  H01L 21/304 ,  C09J 7/02 ,  C09J 201/00 ,  C09J 5/00

FI (5件)：

H01L21/68 N ,  H01L21/304 622P ,  C09J7/02 Z ,  C09J201/00 ,  C09J5/00

Fターム (30件)：

4J004AB01 ,  4J004FA05 ,  4J004GA03 ,  4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040NA20 ,  4J040PA42 ,  5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA01 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031HA78 ,  5F031JA01 ,  5F031JA04 ,  5F031JA13 ,  5F031JA22 ,  5F031JA32 ,  5F031JA45 ,  5F031KA05 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031KA20 ,  5F031LA03 ,  5F031LA07 ,  5F031LA15 ,  5F031MA37 ,  5F031MA38 ,  5F031PA18 ,  5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 半導体基板の表面保護用の粘着テープ及びその剥離方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-237361   出願人：関西日本電気株式会社
• 保護テープの除去装置と除去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-258000   出願人：トヨタ自動車株式会社
• 偏光板の剥離方法及びこれを用いた液晶装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-055870   出願人：セイコーエプソン株式会社
• シート剥離装置及び剥離方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-133782   出願人：リンテック株式会社