有機シリコン含有排気ガス処理方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-003093
公開番号（公開出願番号）：特開2000-197813
特許番号：特許第4452956号
出願日： 1999年01月08日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルキルシラン基を有する有機シリコンを含有する排気ガスを高温酸化処理する工程と高温酸化処理後の排気ガスと高温酸化処理前の排気ガスとの間で熱交換処理する工程を含む排気ガス処理方法であって、前記熱交換処理に使用される熱交換器としてステンレス製の伝熱面を有する平板平面流式熱交換器を使用し、前記高温酸化処理において平板平面流式熱交換器放熱側伝熱面に付着した有機シリコンの酸化物である実質的に二酸化珪素を主成分とする堆積物を水洗浄により除去する工程を含むことを特徴とする排気ガス処理方法。

IPC (2件)：